第1章精密與超精密加工技術(shù)概述(1)
1.1精密加工與先進(jìn)制造技術(shù)(1)
1.1.1先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)生的背景(1)
1.1.2先進(jìn)制造技術(shù)的內(nèi)涵(2)
1.1.3先進(jìn)制造技術(shù)的特點(diǎn)(3)
1.1.4先進(jìn)制造技術(shù)的體系結(jié)構(gòu)(4)
1.2精密與超精密加工技術(shù)(5)
1.2.1精密與超精密加工的概念(5)
1.2.2精密與超精密加工的技術(shù)內(nèi)涵(6)
1.2.3精密與超精密加工的作用(6)
1.2.4精密與超精密加工的難點(diǎn)(7)
1.2.5精密與超精密加工的方法(7)
1.2.6精密與超精密加工系統(tǒng)組成(10)
1.3精密與超精密加工的發(fā)展趨勢(shì)(10)
復(fù)習(xí)思考題(12)
思政小課堂(12)
第2章精密與超精密加工機(jī)床及關(guān)鍵部件(13)
2.1典型超精密加工機(jī)床(13)
2.1.1美國(guó)的典型超精密加工機(jī)床(13)
2.1.2德國(guó)的典型超精密加工機(jī)床(16)
2.1.3英國(guó)的典型超精密加工機(jī)床(17)
2.1.4日本的典型超精密加工機(jī)床(18)
2.1.5中國(guó)的典型超精密加工機(jī)床(18)
2.2超精密加工機(jī)床主軸部件(22)
2.2.1液體靜壓軸承(22)
2.2.2空氣靜壓軸承(23)
2.2.3主軸的驅(qū)動(dòng)方式(24)
2.3精密導(dǎo)軌部件(25)
2.3.1超精密加工機(jī)床的總體布局(25)
2.3.2常用的導(dǎo)軌部件(26)
2.3.3床身及導(dǎo)軌的材料(27)
2.3.4微量進(jìn)給裝置(28)
復(fù)習(xí)思考題(29)
思政小課堂(30)
第3章精密與超精密切削加工(31)
3.1金剛石刀具(31)
3.1.1概述(31)
3.1.2金剛石刀具切削部分的幾何形狀(32)
3.1.3晶面的選擇(33)
3.1.4金剛石刀具上的金剛石的固定方法(34)
3.2精密切削加工過(guò)程及控制(36)
3.2.1精密切削加工的切削過(guò)程(36)
3.2.2精密切削加工時(shí)的切削參數(shù)及其對(duì)加工質(zhì)量的影響(37)
3.2.3精密切削加工時(shí)切削熱的影響及控制(39)
3.2.4精密切削加工的刀具壽命(42)
3.2.5精密與超精密切削加工時(shí)的*小切削厚度(46)
3.3超聲波振動(dòng)車削加工(48)
3.3.1超聲波振動(dòng)車削裝置(48)
3.3.2超聲波振動(dòng)車削的原理及特點(diǎn)(49)
復(fù)習(xí)思考題(51)
思政小課堂(51)
第4章精密與超精密磨削(53)
4.1固結(jié)磨粒加工特點(diǎn)及原理(53)
4.1.1固結(jié)磨粒加工(53)
4.1.2固結(jié)磨具(54)
4.1.3固結(jié)磨粒磨削原理(58)
4.1.4磨削溫度和磨削液(59)
4.2精密與超精密磨削加工技術(shù)(62)
4.2.1精密與超精密磨削加工的概念(62)
4.2.2精密與超精密磨削加工機(jī)理(62)
4.2.3精密與超精密磨削對(duì)機(jī)床的要求(64)
4.3磨削加工表面及亞表面質(zhì)量控制(64)
4.3.1磨削加工表面質(zhì)量(65)
4.3.2硬脆非金屬材料磨削亞表面缺陷及控制(66)
4.4砂帶磨削(68)
4.4.1涂覆磨具(69)
4.4.2復(fù)雜曲面的超精密砂帶磨削(70)
4.4.3砂帶磨削裝置及組成(70)
復(fù)習(xí)思考題(70)
思政小課堂(71)
第5章超精密研磨與拋光(72)
5.1精密研磨加工及應(yīng)用(72)
5.1.1研磨加工機(jī)理(72)
5.1.2研磨加工分類(73)
5.1.3研磨加工的特點(diǎn)(74)
5.1.4研磨工藝(74)
5.1.5研磨加工應(yīng)用實(shí)例(76)
5.2精密拋光加工技術(shù)(77)
5.2.1精密拋光加工機(jī)理(77)
5.2.2精密拋光加工特點(diǎn)(78)
5.2.3精密拋光工藝(78)
5.3精密拋光加工方法及應(yīng)用(81)
5.3.1化學(xué)�矙C(jī)械拋光技術(shù)(81)
5.3.2固結(jié)磨料拋光技術(shù)(83)
5.3.3氣囊拋光技術(shù)(84)
5.3.4磁場(chǎng)輔助拋光技術(shù)(86)
復(fù)習(xí)思考題(91)
思政小課堂(92)
第6章精密測(cè)量與在線檢測(cè)技術(shù)(93)
6.1幾何量精密測(cè)量基礎(chǔ)(93)
6.1.1概述(93)
6.1.2計(jì)量器具分類(93)
6.1.3計(jì)量器基本認(rèn)識(shí)(93)
6.2幾何尺寸的精密測(cè)量(94)
6.3幾何誤差的測(cè)量(96)
6.3.1幾何誤差的測(cè)量原則(96)
6.3.2直線度誤差的測(cè)量和評(píng)定(96)
6.3.3平面度誤差的測(cè)量與評(píng)定(100)
6.3.4圓度誤差的測(cè)量與評(píng)定(101)
6.4表面粗糙度的測(cè)量(101)
6.4.1表面粗糙度的常用測(cè)量方法(102)
6.4.2表面粗糙度的其他測(cè)量方法(103)
6.5精密測(cè)量設(shè)備介紹(103)
6.6在線檢測(cè)技術(shù)(107)
6.6.1在線檢測(cè)技術(shù)概況(107)
6.6.2數(shù)控機(jī)床在線檢測(cè)系統(tǒng)(107)
復(fù)習(xí)思考題(111)
思政小課堂(111)
第7章精密特種加工技術(shù)(113)
7.1特種加工的分類和特點(diǎn)(113)
7.1.1特種加工的分類(113)
7.1.2特種加工的特點(diǎn)(114)
7.2電火花加工技術(shù)(114)
7.2.1電火花加工的原理和過(guò)程(114)
7.2.2電火花加工的特點(diǎn)及類型(116)
7.2.3電火花加工的工藝及應(yīng)用(117)
7.3電化學(xué)加工(119)
7.3.1電化學(xué)加工的原理和過(guò)程(119)
7.3.2電化學(xué)加工的特點(diǎn)及類型(121)
7.3.3電化學(xué)加工的工藝及應(yīng)用(122)
7.4離子束加工(131)
7.4.1離子束加工的概念及原理(131)
7.4.2離子束加工的特點(diǎn)(132)
7.4.3離子束加工的工藝及應(yīng)用(132)
7.5電子束加工(134)
7.5.1電子束加工的概念及原理(134)
7.5.2電子束加工的特點(diǎn)(134)
7.5.3電子束加工的工藝及應(yīng)用(135)
7.6激光加工(136)
7.6.1激光加工的概念及原理(136)
7.6.2激光加工的特點(diǎn)(137)
7.6.3激光加工的工藝及應(yīng)用(138)
復(fù)習(xí)思考題(141)
思政小課堂(141)
第8章微細(xì)加工技術(shù)(143)
8.1微細(xì)加工技術(shù)的出現(xiàn)(143)
8.1.1制造技術(shù)自身加工的極限(143)
8.1.2微細(xì)加工出現(xiàn)的歷史背景(143)
8.2微細(xì)加工的概念及其特點(diǎn)(144)
8.2.1微細(xì)加工的概念(144)
8.2.2微細(xì)加工的特點(diǎn)(145)
8.3微細(xì)加工機(jī)理(146)
8.3.1切削厚度與材料剪應(yīng)力的關(guān)系(146)
8.3.2材料缺陷分布對(duì)其破壞方式的影響(146)
8.3.3各種微細(xì)加工方法的加工機(jī)理(147)
8.4微細(xì)加工方法(148)
8.4.1微細(xì)加工方法分類(148)
8.4.2光刻加工技術(shù)(149)
8.4.3立體復(fù)合工藝(152)
8.5集成電路與印制線路板制作技術(shù)(154)
8.5.1集成電路制作技術(shù)(154)
8.5.2印制線路板制作技術(shù)(156)
復(fù)習(xí)思考題(157)
思政小課堂(158)
第9章納米技術(shù)(159)
9.1概述(159)
9.1.1納米技術(shù)的特點(diǎn)(159)
9.1.2發(fā)展納米技術(shù)的重要性(159)
9.1.3納米技術(shù)的主要內(nèi)容(160)
9.2納米級(jí)測(cè)量和掃描探針測(cè)量技術(shù)(160)
9.2.1納米級(jí)測(cè)量方法簡(jiǎn)介(160)
9.2.2基于F�睵標(biāo)準(zhǔn)具的測(cè)量技術(shù)(161)
9.2.3X射線干涉測(cè)量技術(shù)(161)
9.2.4掃描隧道顯微測(cè)量技術(shù)(161)
9.2.5微觀表面形貌的掃描探針測(cè)量和其他掃描測(cè)量技術(shù)(163)
9.3納米級(jí)加工和原子操縱(165)
9.3.1納米級(jí)加工的物理實(shí)質(zhì)分析(165)
9.3.2納米級(jí)加工精度(166)
9.3.3使用SPM進(jìn)行原子操縱(166)
9.3.4使用SPM加工微結(jié)構(gòu)(168)
9.4微型機(jī)械、微型機(jī)電系統(tǒng)及其制造技術(shù)(172)
9.4.1微型機(jī)械、微型機(jī)電系統(tǒng)(172)
9.4.2微型機(jī)械和微型機(jī)電系統(tǒng)的制造技術(shù)(174)
復(fù)習(xí)思考題(178)
思政小課堂(179)
參考文獻(xiàn)(180)