本書主要敘述了涂層與薄膜材料沉積制備的現(xiàn)代材料表面處理技術與應用，著重以表面密切相關的等離子體、電子束、激光束、離子束等先進科學技術為基礎，結合涂層材料、薄膜材料的特點，涉及表面科學中與表面相關的基本理論，以及材料表面改性、先進的薄膜氣相沉積技術與表面復合技術，并扼要介紹了表面微細加工技術和表面檢測分析研究方法等內容。