目錄
前言
第1章 概述 1
1.1 光場(chǎng)調(diào)控的意義 1
1.2 光場(chǎng)調(diào)控對(duì)激光加工的影響 1
1.3 超快激光加工中需要的光場(chǎng)調(diào)控技術(shù) 3
參考文獻(xiàn) 5
第2章 空間光調(diào)制器特性分析 7
2.1 空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu) 7
2.2 相位調(diào)制原理 8
2.2.1 動(dòng)態(tài)散射效應(yīng) 9
2.2.2 電控雙折射效應(yīng) 9
2.2.3 相變效應(yīng) 10
2.3 液晶空間光調(diào)制器相位誤差 11
2.3.1 像素間串?dāng)_誤差 13
2.3.2 空間非均勻相位誤差 13
2.3.3 時(shí)域波動(dòng)誤差 13
2.4 基于澤尼克多項(xiàng)式的波像差校正 13
參考文獻(xiàn) 15
第3章 利用空間光調(diào)制器模擬光學(xué)器件 16
3.1 透鏡 16
3.2 一維光柵 17
3.2.1 二元光柵 17
3.2.2 閃耀光柵 19
3.2.3 正弦光柵 22
3.3 二維光柵 23
3.3.1 等占空比的正交光柵 23
3.3.2 占空比變化的正交光柵 32
3.3.3 棋盤(pán)光柵 40
3.4 軸錐鏡 42
3.4.1 用CGH模擬正軸錐鏡 43
3.4.2 用CGH模擬負(fù)軸錐鏡 46
3.4.3 軸錐鏡模擬結(jié)果分析 47
3.4.4 用空間光調(diào)制器模擬負(fù)軸錐鏡 49
3.5 菲涅耳鏡 50
3.6 數(shù)字復(fù)用透鏡 51
參考文獻(xiàn) 53
第4章 軸向光強(qiáng)調(diào)控技術(shù) 55
4.1 零階貝塞爾光束的基本性質(zhì) 55
4.2 軸錐鏡生成貝塞爾光束軸向光強(qiáng)分布理論分析 57
4.2.1 平行光入射軸錐鏡生成貝塞爾光束 57
4.2.2 高斯光入射軸錐鏡生成貝塞爾光束 60
4.3 曲面軸錐鏡對(duì)軸向光強(qiáng)的調(diào)控分析 61
4.3.1 曲面透鏡調(diào)控軸向光強(qiáng)原理 61
4.3.2 振幅透過(guò)率函數(shù)理論 62
4.3.3 非直線軸錐鏡的實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析 65
4.4 基于高次曲面的軸向光強(qiáng)調(diào)控方法 68
4.4.1 理論分析 68
4.4.2 仿真結(jié)果 71
4.4.3 實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)裝置 76
4.4.4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析 76
4.5 角度偏轉(zhuǎn)控制方法 78
4.5.1 理論分析 78
4.5.2 仿真結(jié)果 83
4.5.3 實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)裝置 85
4.5.4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析 85
4.6 貝塞爾陣列控制方法 87
4.6.1 貝塞爾陣列生成 87
4.6.2 貝塞爾陣列數(shù)值仿真 94
4.6.3 貝塞爾陣列實(shí)驗(yàn) 98
4.6.4 多貝塞爾軸向光強(qiáng)的進(jìn)一步調(diào)控 101
4.7 高階貝塞爾光束的調(diào)控方法 102
4.7.1 高階貝塞爾光束的特性 103
4.7.2 螺旋相位板和軸錐鏡組合 105
4.7.3 螺旋相位和錐面相位疊加 106
參考文獻(xiàn) 108
第5章 空間多焦點(diǎn)調(diào)控技術(shù) 110
5.1 常用多焦點(diǎn)的調(diào)控方法 110
5.1.1 GL算法 110
5.1.2 GS算法 111
5.1.3 GSW算法 113
5.1.4 算法的優(yōu)化及存在的理論問(wèn)題 114
5.2 基于圖像反饋的二維多焦點(diǎn)調(diào)控方法 115
5.2.1 基于圖像反饋的二維多焦點(diǎn)調(diào)控原理 115
5.2.2 多光束數(shù)量實(shí)驗(yàn) 117
5.3 三維空間多焦點(diǎn)調(diào)控方法 122
5.3.1 基于圖像反饋的3D-GS算法原理 122
5.3.2 空間三維多焦點(diǎn)調(diào)控實(shí)驗(yàn) 126
5.4 焦線與多焦點(diǎn)共光路設(shè)計(jì) 132
5.5 多焦點(diǎn)球差校正 133
參考文獻(xiàn) 135
第6章 光束整形方法 137
6.1 光束整形方法概述 137
6.1.1 折射整形方法 138
6.1.2 衍射整形方法 139
6.1.3 光束整形方法總結(jié) 142
6.2 光束整形質(zhì)量評(píng)價(jià)指標(biāo) 142
6.3 幾何穩(wěn)相法光束整形 143
6.3.1 幾何穩(wěn)相法光束整形原理 143
6.3.2 幾何穩(wěn)相法求解調(diào)制相位 144
6.3.3 編碼相位全息圖 147
6.3.4 仿真模擬 148
6.3.5 影響幾何穩(wěn)相法光束整形質(zhì)量的因素分析 151
6.4 光柵掩膜法光束整形 153
6.4.1 光柵掩膜法光束整形原理 153
6.4.2 整形光束的成像范圍 156
6.4.3 高質(zhì)量整形光束的動(dòng)態(tài)轉(zhuǎn)換 157
6.4.4 不同光柵對(duì)整形光束質(zhì)量的影響 159
6.5 組合光柵掩膜法光束整形 161
6.5.1 組合光柵掩膜法實(shí)驗(yàn)分析 161
6.5.2 外部光柵的影響 162
6.5.3 內(nèi)部光柵的影響 164
6.5.4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析 166
6.6 不同方法整形質(zhì)量的比較 169
6.6.1 幾何穩(wěn)相法和組合光柵掩膜法整形結(jié)果 169
6.6.2 幾何穩(wěn)相法和組合光柵掩膜法與傳統(tǒng)光束整形方法對(duì)比 170
參考文獻(xiàn) 172
第7章 光束偏振態(tài)控制方法 176
7.1 光束偏振態(tài)的基本理論 176
7.1.1 理論分析 176
7.1.2 光束的四種偏振態(tài) 177
7.1.3 基于空間光調(diào)制器的光束偏振態(tài)控制方法 178
7.2 不同偏振態(tài)在飛秒激光柔性電路板打孔的實(shí)驗(yàn)分析 185
7.2.1 柔性電路板單脈沖飛秒激光損傷閾值實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析 187
7.2.2 不同偏振光能量對(duì)孔徑大小的影響 188
7.2.3 不同偏振光對(duì)燒蝕程度的影響 189
7.2.4 不同偏振光對(duì)圓度的影響 190
7.2.5 偏振光加工實(shí)例分析 191
7.3 超連續(xù)光譜產(chǎn)生的條件及理論分析 192
7.3.1 自相位調(diào)制原理 192
7.3.2 超連續(xù)光譜產(chǎn)生理論 193
7.3.3 實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)裝置 194
7.3.4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析 194
7.4 不同偏振態(tài)對(duì)成絲加工的影響 197
7.4.1 飛秒激光成絲理論 197
7.4.2 實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)裝置 199
7.4.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析 200
參考文獻(xiàn) 200
第8章 自加速光場(chǎng)調(diào)控技術(shù) 203
8.1 自加速光場(chǎng)原理 203
8.2 相位全息圖位置對(duì)艾里光束的影響 205
8.2.1 相位全息圖水平方向移動(dòng)對(duì)艾里光束的影響 206
8.2.2 相位全息圖豎直方向移動(dòng)對(duì)艾里光束的影響 208
8.3 相位全息圖偏轉(zhuǎn)角對(duì)艾里光束的影響 210
8.4 光強(qiáng)可控艾里光束的實(shí)現(xiàn)方法 212
參考文獻(xiàn) 214
第9章 多截面成像方法 217
9.1 多截面成像原理 217
9.2 高時(shí)間分辨的多截面顯微成像 221
9.3 高時(shí)間分辨多界面成像實(shí)驗(yàn) 224
9.3.1 多平面同時(shí)成像實(shí)驗(yàn)1 224
9.3.2 多平面同時(shí)成像實(shí)驗(yàn)2 226
9.4 多截面全息成像控制方法 229
9.4.1 全息圖制作方法 229
9.4.2 基于層的全息圖制作方法 229
9.5 基于加權(quán)優(yōu)化的多截面成像方法 230
9.5.1 基于角譜法的多截面成像算法 230
9.5.2 基于加權(quán)優(yōu)化的多截面成像算法 231
9.5.3 成像質(zhì)量評(píng)價(jià) 232
9.6 多截面全息成像實(shí)驗(yàn)研究 234
參考文獻(xiàn) 236
第10章 二維碼并行加工 238
10.1 二維碼的特征分析 239
10.1.1 DM二維碼 239
10.1.2 QR二維碼 240
10.2 二維碼激光加工評(píng)價(jià)與分區(qū)方式 240
10.2.1 二維碼激光加工評(píng)價(jià) 240
10.2.2 二維碼激光加工分區(qū) 242
10.3 DM碼激光并行加工 244
10.3.1 圓點(diǎn)直徑對(duì)識(shí)讀時(shí)間的影響 244
10.3.2 灰度等級(jí)對(duì)識(shí)讀時(shí)間的影響 246
10.3.3 DM碼加工實(shí)驗(yàn) 247
10.4 QR碼參數(shù)對(duì)識(shí)別率的影響分析 248
10.4.1 加工填充率對(duì)識(shí)別率的影響 248
10.4.2 對(duì)比度對(duì)識(shí)別率的影響 249
10.4.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析 250
參考文獻(xiàn) 252