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壓力傳感器的原理、設(shè)計(jì)及應(yīng)用研究
本書是作者結(jié)合長(zhǎng)期教學(xué)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和科研成果精心編寫而成的。全書共九章,第一章介紹了壓力傳感器的背景及現(xiàn)狀;第二至五章闡述了壓力傳感器的原理、設(shè)計(jì)、標(biāo)定與校準(zhǔn)及其在不同領(lǐng)域的應(yīng)用;第六、七章重點(diǎn)分析了新型柔性薄膜壓力傳感器的設(shè)計(jì)開發(fā)及應(yīng)用;第八、九章深入闡述了多晶硅納米薄膜壓力傳感器的測(cè)試及其應(yīng)用研究。本書編排合理、內(nèi)容豐富,可作為電氣工程、電子信息工程、人工智能、儀器儀表等專業(yè)的教材,也可供從事傳感器、測(cè)控技術(shù)工作的工程技術(shù)人員參考與借鑒。
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