"本書根據(jù)編者在微納加工技術(shù)與應用研究生創(chuàng)新課程教學經(jīng)驗的基礎(chǔ)上編撰而成。該課程旨在通過對微納加工技術(shù)的課堂講授并結(jié)合上機實操，使學生們能夠較全面掌握微納加工關(guān)鍵工藝；同時，依托本校微納技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)勢團隊，學生們能夠完成以工藝創(chuàng)新為導向的課程設(shè)計。通過線上教學、課堂教學、案例示范教學和實踐教學相結(jié)合，為學生提供多場景、全方位、理論和實踐結(jié)合、案例示范相伴的教學新模式。
本書內(nèi)容覆蓋了微納加工工藝原理與操作、表征與測試方法以及應用創(chuàng)新案例。本書第一篇是微納加工技術(shù)與應用綜述；第二篇介紹微納加工關(guān)鍵工藝；第三篇是微納技術(shù)創(chuàng)新案例，詳細介紹了集成電路、光電、機械、材料等學科領(lǐng)域的十一個基于微納加工技術(shù)的前沿課題。
本書可以作為微電子、集成電路、光學工程、物理學等專業(yè)本科生以及工科相關(guān)專業(yè)碩士（博士）研究生的專業(yè)選修課教材；本書還可面向從事微納技術(shù)研究或?qū)ξ⒓{加工技術(shù)感興趣的科研人員及愛好者參考使用。"