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脆性光學元件彈性域超光滑表面加工技術(shù)
本書內(nèi)容以脆性光學元件原子級超光滑加工為應用背景,提出了脆性光學元件彈性域超光滑加工方法,對光學材料彈性域去除機理展開了全面深入的研究。書稿具有較高的學術(shù)價值,作者的研究方法,過程和結(jié)果對同行業(yè)研究者具有借鑒意義和參考價值,是一部值得出版的學術(shù)著作。隨著光學和微電子學領(lǐng)域及其相關(guān)學科的發(fā)展對超光滑表面的需求量越來越大,同時加工要求也越來越高,不但要求達到原子級的超光滑表面,同時要求加工表面具有優(yōu)良的完整性。為滿足現(xiàn)代科技發(fā)展對超光滑表面提出的嚴格要求,本書針對光學元件的彈性域去除機理展開全面系統(tǒng)的研究,探索如何獲取原子級超光滑表面。本書研究可為流體動壓超光滑加工在實際應用中的推廣奠定基礎(chǔ)。
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