本書為高等工科院校測控技術與儀器專業(yè)“精密儀器設計”課程的教材，從精密儀器精度理論、設計原理到精密儀器光、機、電系統(tǒng)結構分析和設計方法做了系統(tǒng)的介紹。全書共分為八章，分別為精密儀器概論、精度理論、總體設計、機械系統(tǒng)設計、光學系統(tǒng)設計、伺服控制系統(tǒng)設計和精密儀器設計實例。本書內容側重于光機電一體化的精密儀器的基本工作原理、主要技術、設計方法等工程基礎和本專業(yè)基本理論的知識體系的形成，以及精密儀器設計和實施實驗的能力訓練。