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微電子工藝技術(shù)與仿真 
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《微電子工藝技術(shù)與仿真》共8章，從微電子工藝的物理學(xué)、晶體學(xué)、器件基礎(chǔ)開始，根據(jù)工藝的復(fù)雜程度深入淺出地介紹了晶圓材料的生長與制備、氧化/擴(kuò)散工藝、光刻工藝、薄膜工藝、等離子工藝、工藝整合和太陽能電池工藝。每章的編纂既體現(xiàn)了微電子工藝技術(shù)的科學(xué)性，又通過分析具體的工藝方法，體現(xiàn)了技術(shù)性。針對(duì)微電子工藝的實(shí)踐性要求，克服高校因經(jīng)費(fèi)問題無法進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的不足，《微電子工藝技術(shù)與仿真》重點(diǎn)編撰了相關(guān)仿真內(nèi)容，通過仿真實(shí)例的設(shè)計(jì)與分析，讓學(xué)生對(duì)于微電子工藝的各個(gè)知識(shí)點(diǎn)有感性的認(rèn)識(shí)。
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