本書以自行研制的先進光電微納檢測技術及信號調制與圖像處理系統(tǒng)為基礎，開展6個光電微納檢測實驗：①數(shù)字波面干涉儀檢測平面鏡面形；②偏振干涉圖像調節(jié)及處理與系統(tǒng)誤差標定；③數(shù)字波面干涉儀球面面形檢測；④單幅干涉圖相位恢復實驗；⑤非球面光學性質及通用化檢測；⑥非球面高精度零位干涉檢測。通過實驗，使學生深刻理解光機電算一體化檢測系統(tǒng)“以光學原理為核心、電路控制為輔助、計算機及軟件技術做提升”的特點，掌握光電干涉檢測系統(tǒng)的調整和實驗方法。